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簡要描述：GNP CLEANER-412S型CMP后清洗機(jī)集成了兩個雙刷站，設(shè)計緊湊，占地面積小，可清洗(4“~12“)晶圓。
產(chǎn)品型號：GNP CEANER-412S廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-09-04訪 問 量： 367產(chǎn)品分類
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1. 產(chǎn)品概述：
GNP CLEANER-412S型CMP后清洗機(jī)集成了兩個雙刷站，設(shè)計緊湊，占地面積小，可清洗(4“~12“)晶圓。
適用晶圓尺寸:100mm(4")和300mm(12")
配置:噴淋清洗、單邊刷清洗、旋轉(zhuǎn)漂洗干燥(可選:分離QDR)
清潔器尺寸:1,100W 1,100D 1,650Hmm
電刷尺寸:070(外徑)032(內(nèi)徑)170(長)毫米
刷隙調(diào)節(jié):PLC自動控制(可選刷隙范圍:-10mm ~ 2mm)
化學(xué):NH4OH ~ 1%
可用刷型:雙面PVA刷
電刷轉(zhuǎn)速:最高400rpm
旋轉(zhuǎn)速度:手動加載與自動順序，濕入/干出，最大2,000rpmDIW沖洗/ N2吹
2. 工藝流程
手動加載，自動順序，濕/干液晶觸摸屏顯示器，程序控制PLC式
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