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    脈沖激光沉積鍍膜機(jī)PLD可適用于多種材料和不同類型的襯底

    更新時(shí)間:2024-05-16  |  點(diǎn)擊率:285
      脈沖激光沉積鍍膜機(jī)PLD是一種物理氣相沉積技術(shù),用于制備各種類型的薄膜和多層結(jié)構(gòu)。PLD技術(shù)以其能夠保持靶材的化學(xué)成分不變和在復(fù)雜襯底上生長(zhǎng)高質(zhì)量的薄膜而著稱。廣泛應(yīng)用于研究實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)領(lǐng)域,如半導(dǎo)體、金屬、陶瓷、聚合物以及生物材料等的薄膜制備。通過(guò)激光發(fā)生器產(chǎn)生的高能脈沖激光束經(jīng)過(guò)聚焦光學(xué)系統(tǒng)后,照射到旋轉(zhuǎn)的靶材上。激光束的能量被靶材表面吸收,導(dǎo)致局部區(qū)域迅速升溫并蒸發(fā),形成高溫高壓的等離子體羽流。這個(gè)等離子體羽流隨后沉積在對(duì)面放置的襯底上,形成薄膜。
     

     

      脈沖激光沉積鍍膜機(jī)PLD的結(jié)構(gòu)組成:
      1.激光發(fā)生器:產(chǎn)生高能量的脈沖激光束。
      2.聚焦光學(xué)系統(tǒng):將激光束聚焦到靶材上。
      3.真空腔體:包含靶材和襯底,可以維持高真空或特定的氣體環(huán)境。
      4.靶材支架:固定靶材,使其能夠旋轉(zhuǎn)和移動(dòng)以優(yōu)化薄膜的均勻性。
      5.襯底加熱器:控制襯底的溫度,有時(shí)還需要冷卻功能。
      6.監(jiān)控系統(tǒng):實(shí)時(shí)監(jiān)控沉積過(guò)程,包括膜厚監(jiān)測(cè)和反射率監(jiān)測(cè)。
      主要特點(diǎn):
      1.保持化學(xué)計(jì)量:能夠精確復(fù)制靶材的化學(xué)組成,適合復(fù)雜化合物的薄膜生長(zhǎng)。
      2.高質(zhì)量薄膜:生長(zhǎng)的薄膜具有良好的均勻性、結(jié)晶性和界面清晰度。
      3.靈活性高:適用于多種材料和不同類型的襯底,包括非平面和敏感材料。
      4.實(shí)驗(yàn)參數(shù)可調(diào):通過(guò)調(diào)整激光能量、氣壓、襯底溫度等參數(shù),可以控制薄膜的性質(zhì)。
      5.原位監(jiān)測(cè):配備膜厚和光學(xué)性質(zhì)監(jiān)測(cè)設(shè)備,實(shí)現(xiàn)精確控制。
      脈沖激光沉積鍍膜機(jī)PLD的應(yīng)用領(lǐng)域:
      1.半導(dǎo)體工業(yè):制備集成電路中的多層金屬化結(jié)構(gòu)。
      2.光電材料:生長(zhǎng)發(fā)光二極管、激光二極管、太陽(yáng)能電池等光電器件。
      3.超導(dǎo)材料:制備高溫超導(dǎo)薄膜。
      4.生物醫(yī)學(xué):用于生物傳感器和人工骨骼的生長(zhǎng)。
      5.納米材料研究:合成納米顆粒、量子點(diǎn)等低維結(jié)構(gòu)。
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