ALD

1.產(chǎn)品概述：

Beneq Prodigy™ 是 VCSEL、LED 和 MEMS 制造商和代工廠的理想制造解決方案，他們希望通過經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的獨(dú)立 ALD 批處理工具提高設(shè)備性能和可靠性。Beneq Prodigy 為多種晶圓類型和尺寸提供同類佳的鈍化和/或封裝膜。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢：

價(jià)值：以更低的價(jià)格提供技術(shù)。 Prodigy在經(jīng)濟(jì)性、容量和可靠性方面為化合物半導(dǎo)體和MEMS制造市場提供了的突破。

單純：有更多時(shí)間思考解決方案。 Prodigy 通過水平晶圓處理的自動(dòng)裝載以及直接的維護(hù)和可維護(hù)性以及輕松的側(cè)面檢修，提供了純粹的簡單性。

創(chuàng)新：定義新標(biāo)準(zhǔn)。 該工具為采用ALD的化合物半導(dǎo)體和MEMS器件的經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的大批量制造設(shè)定了全新的標(biāo)準(zhǔn)。我們使用 Beneq 超過 15 年積累的簡單自動(dòng)化和可靠的反應(yīng)器設(shè)計(jì)，為應(yīng)用域提供經(jīng)過驗(yàn)證的結(jié)果。

晶圓廠就緒：Beneq Prodigy 與 SECS/GEM 通信功能兼容，并符合高的 SEMI S2 標(biāo)準(zhǔn)。