原子層沉積

1.產(chǎn)品概述：

Beneq Transform在其多功能性和適應(yīng)性方面建立了全新的ALD集群工具產(chǎn)品，以滿足廣泛的應(yīng)用和細(xì)分市場(chǎng)的需求。Beneq Transform 配置多個(gè) ALD 工藝模塊，以滿足特定的晶圓容量要求，或者在以后進(jìn)行升，以響應(yīng)不斷增長(zhǎng)的數(shù)量或新的 ALD 應(yīng)用。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

一個(gè)平臺(tái)，多種配置：Beneq Transform在其多功能性和適應(yīng)性方面建立了全新的ALD集群工具產(chǎn)品，以滿足廣泛的應(yīng)用和細(xì)分市場(chǎng)的需求。Beneq Transform 配置多個(gè) ALD 工藝模塊，以滿足特定的晶圓容量要求，或者在以后進(jìn)行升，以響應(yīng)不斷增長(zhǎng)的數(shù)量或新的 ALD 應(yīng)用。

熱原子層沉積和等離子體原子層沉積合二為一。

單晶圓或批量處理：泛的高性能氧化物和氮化物。大限度地增加靈活的批量生產(chǎn)選擇。憑借其靈活的自動(dòng)化平臺(tái)和將熱批量和等離子體增強(qiáng)的原子層沉積工藝模塊結(jié)合在一個(gè)集成系統(tǒng)中的功能，Beneq Transform 在如何實(shí)現(xiàn)處理序列以滿足的薄膜沉積要求方面提供了靈活性。

為晶圓廠設(shè)計(jì)：行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的水平晶圓裝載提供即插即用的集成。預(yù)熱模塊消除了等待時(shí)間，并將吞吐量提升到一個(gè)全新的水平。

SEMI認(rèn)證：符合 SEMI S2/S8 和 SECS/GEM 標(biāo)準(zhǔn)。定制支持可確保在生產(chǎn)中順利過(guò)渡到原子層沉積。