ALD

簡要描述：Beneq Transform 300 是一個高度通用的制造平臺，面向致力于 CIS、電源、Micro-OLED/LED、先進封裝和其他 MtM 應用的 IDM 和代工廠。它是一種高度可配置的解決方案，適用于多種高級薄膜應用，從柵極電介質到鈍化和/或封裝等。

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詳細介紹

1.產(chǎn)品概述：

Beneq Transform 300 是一個高度通用的制造平臺，面向致力于 CIS、電源、Micro-OLED/LED、先進封裝和其他 MtM 應用的 IDM 和代工廠。它是一種高度可配置的解決方案，適用于多種高薄膜應用，從柵電介質到鈍化和/或封裝等。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢：

大的靈活性和功能：Beneq Transform® 300 是一款同時提供熱 ALD（批量）和等離子 ALD（單晶圓）技術的 300mm 原子層沉積（ALD）簇工具。

配置：找到適合您的設置。 Transform® 300 平臺旨在滿足廣泛的容量和應用要求，包括先進封裝、芯片封裝和磁帶晶圓應用。

生產(chǎn)力：行業(yè)標準的頂水平。該工具包括可維護性和可用的短 MTTCR。借助我們有的預熱模塊，您可以享受熱批量 ALD 的高吞吐量。

晶圓廠就緒：Beneq Transform® 300 與 SECS/GEM 通信功能兼容，并符合高的 SEMI S2 和 S8 標準。

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