等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備

簡要描述：RIE-230iPC是以電感耦合等離子體為放電方式，高速進行各種材料的超精細加工的盒式ICP蝕刻系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過采用龍卷風式線圈電，高效地產(chǎn)生穩(wěn)定的高密度等離子體，實現(xiàn)了對硅、各種金屬薄膜和化合物半導體的高精度各向異性蝕刻。此外，ø230mm的托盤可同時處理多種化合物半導體。

產(chǎn)品型號：RIE-230iPC
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-08-27
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1、公司介紹

深圳市矢量科學儀器有限公司成立于 2020年，由武漢大學團隊孵化，致力泛半導體實驗線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)。

公司主要業(yè)務(wù)如下:

裝備銷售:半導體道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試裝備、半導體光電測試儀表。

設(shè)備服務(wù):駐場或者 oncall，裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持。

廠務(wù)服務(wù):駐場或者 oncall，人力服務(wù)及廠務(wù)二次配工程。

經(jīng)歷五年高速發(fā)展，2023 年營業(yè)額達 3.2 億，連年復合增長率達 300%，現(xiàn)處于穩(wěn)定擴張期。

2、成長歷程

•2020年（公司成立年）

•2300萬訂單額

2021年 7000萬訂單額

2022年 2.5億訂單額

2023年3.2億訂單額

ICP-RIE等離子體蝕刻設(shè)備 RIE-230iPC

量產(chǎn)設(shè)備

概要

RIE-230iPC是以電感耦合等離子體為放電方式，高速進行各種材料的超精細加工的盒式ICP蝕刻系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過采用龍卷風式線圈電，高效地產(chǎn)生穩(wěn)定的高密度等離子體，實現(xiàn)了對硅、各種金屬薄膜和化合物半導體的高精度各向異性蝕刻。此外，?230mm的托盤可同時處理多種化合物半導體。

主要特點和優(yōu)點

龍卷風線圈電
　它能有效地產(chǎn)生穩(wěn)定的高密度等離子體，使蝕刻具有高選擇性、高精度和良好的均勻性。
低損傷工藝
　通過ICP產(chǎn)生高密度的等離子體，實現(xiàn)了低偏置、低損傷的工藝。
溫度控制
　電調(diào)和He冷卻的平臺和反應室內(nèi)側(cè)壁的溫度控制使蝕刻在穩(wěn)定的條件下進行

應用

GaN、GaAs、InP等化合物半導體的高精度加工。
鐵電材料和電材料的加工。

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等離子體（ICP） 刻蝕設(shè)備

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