12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)

簡要描述：Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。

產(chǎn)品型號：Sitara TA230A
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-09-05
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詳細介紹

1. 產(chǎn)品概述

Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。

2. 設(shè)備用途/原理

Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝，高精度溫度控制，提供優(yōu)異工藝，低成本，高產(chǎn)能。

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸 12 英寸，適用工藝快速熱退火、快速熱氧化、金屬硅化。適用域科研、集成電路。此外，12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)的應(yīng)用還涉及到泛半導(dǎo)體實驗線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)等領(lǐng)域，展示了其在半導(dǎo)體制造中的重要角色。這種系統(tǒng)的發(fā)展和應(yīng)用，對于推動半導(dǎo)體技術(shù)的進步和促進相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。?

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