碳化硅快速熱退火系統(tǒng)

簡要描述：Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng)，加熱分區(qū)設(shè)計，具備良好的溫度均勻性。

產(chǎn)品型號：Pallas A220
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-09-05
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詳細介紹

1. 產(chǎn)品概述

Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng)，加熱分區(qū)設(shè)計，具備良好的溫度均勻性，高精度的控溫模式，更優(yōu)的升溫速率。

2. 設(shè)備用途/原理

Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng)，加熱分區(qū)設(shè)計，具備良好的溫度均勻性，高精度的控溫模式，更優(yōu)的升溫速率。

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸 6/8 英寸兼容，適用工藝快速熱退火。適用域科研、化合物半導(dǎo)體。?碳化硅快速熱退火系統(tǒng)?是一種特殊的加熱設(shè)備，能夠在短時間內(nèi)將碳化硅材料迅速加熱到高溫，并通過快速冷卻的方式使其達到非常高的溫度梯度。這種系統(tǒng)的主要應(yīng)用領(lǐng)域包括CMOS器件后端制程、GaN薄膜制備、SiC材料晶體生長以及拋光后退火等。

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