多片碳化硅外延系統(tǒng)

1. 產(chǎn)品概述

MARS iCE120 多片碳化硅外延系統(tǒng)，產(chǎn)能大，6 英寸運(yùn)營(yíng)成本低。

2. 設(shè)備用途/原理

MARS iCE120 多片碳化硅外延系統(tǒng)，產(chǎn)能大，6 英寸運(yùn)營(yíng)成本低。薄膜和厚膜外延兼容，工藝穩(wěn)定性高。具備多層外延能力。氣流場(chǎng)和加熱場(chǎng)設(shè)計(jì)，工藝性能優(yōu)異。可靠的壓力控制系統(tǒng)，成膜質(zhì)量均一性好。兼容 8 英寸。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料 碳化硅 SiC，適用工藝 N&P 碳化硅外延，適用域 科研、化合物半導(dǎo)體。碳化硅外延晶片?主要用于以下幾個(gè)方面：?射頻器件?：用于?5G基站、?城際高速鐵路、?新能源汽車充電樁等。??電力電子器件?：用于電動(dòng)汽車，提高續(xù)航能力。?功率電子器件?：如?功率MOSFET、?Schottky二極管等。??光電子器件?：用于?光通信、?激光二極管和?光傳感器等。碳化硅外延晶片在具體領(lǐng)域的應(yīng)用，?5G基站建設(shè)?：碳化硅晶片作為5G芯片的理想襯底，可以減小設(shè)備體積，降低能量損耗，增加設(shè)備在惡劣環(huán)境下的可靠性。?新能源汽車?：用于電動(dòng)汽車的電力電子器件，提高續(xù)航能力約10%。