HORIC D200系列 擴散/氧化系統(tǒng)，半導(dǎo)體客戶端機臺裝機量大,可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機臺,安全性能高：設(shè)備及所使用的元件符合國標(biāo)和國際標(biāo)準(zhǔn)。

AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐，適用于 6、8 英寸，導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

APS系列 感應(yīng)式碳化硅長晶爐，適用于 6 英寸、8 英寸，導(dǎo)電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng)，加熱分區(qū)設(shè)計，具備良好的溫度均勻性。

Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。

CIF透射電鏡樣品桿存儲儀采用無油隔膜泵，通過抽真空產(chǎn)生100 Pa恒定潔凈無污染的真空環(huán)境，特別適用于TEM透射電鏡樣品桿的日常真空儲存或水汽去除，簡單方便實用。