簡要描述:該系列設備是碳化硅晶圓拋光后的專用清洗設備,采用連線式結構,設備加配全自動上下片系統(tǒng)。該系列設備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能,集成度高,占地面積小,濕進干出,適用于碳化硅晶圓拋光后的清洗。
詳細介紹
該系列設備是碳化硅晶圓拋光后的專用清洗設備,采用連線式結構,設備加配全自動上下片系統(tǒng)。該系列設備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能,集成度高,占地面積小,濕進干出,適用于碳化硅晶圓拋光后的清洗。
產品特點
全自動系統(tǒng)
皮帶傳動, cassette in/out 干進干出
PLC控制系統(tǒng)
觸摸屏操作
清洗工藝
預清洗/雙面刷洗/藥液噴霧漂洗 /兆聲噴淋/高速甩干/氮氣吹干
刷子類型
PVA 刷, 雙面刷洗
性能參數(shù)
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