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詳細介紹
1.產品概述：
KS-FT200/300系列堆疊式高產能道涂膠顯影機，為我司自主研發(fā)的突破晶圓道28nm工藝節(jié)點及以上工藝制程，適用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC，SOC，SOD，SOG等多種材料涂覆顯影工藝的機臺。支持與光刻機聯機作業(yè)。該系列機臺通過各種行業(yè)認證，占地面積小、可靠性高、易于維護，滿足各種功能芯片制程需求。
2.產品優(yōu)勢：
1. 堆疊式高產能架構，占地面積小
2. 可與光刻機聯機，滿足工廠自動化需求
3. 配備多段回吸的多腔體共用供膠系統，有效節(jié)省光刻膠的用量
4. 選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件，滿足更高標準工藝需求
5. 核心單元模塊化設計，組合方式靈活多變，大限度客制化
3.應用域：
● 邏輯電路
● CMOS射頻電路
● 功率器件
● MEMS系統芯片
● 閃存內存
● CIS
● 驅動芯片
● OLED等
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