雙光子聚合直寫光刻機

1.產(chǎn)品概述：

MPO 100，這是海德堡儀器先進的多用戶工具，為復(fù)雜微結(jié)構(gòu)的 3D 光刻和 3D 顯微打印而設(shè)計。MPO 100 利用先進的雙光子聚合（TPP），在微光學(xué)、光子學(xué)、微力學(xué)和生物醫(yī)學(xué)工程域的應(yīng)用中表現(xiàn)出色。這種多功能平臺提供的精度和吞吐量，能夠在一個高效的工藝步驟中生產(chǎn)出復(fù)雜的功能性微結(jié)構(gòu)。

2.設(shè)備用途：

微光學(xué)：無需拼接即可創(chuàng)建高精度微光學(xué)元件，確保無縫集成。

光子學(xué)：將光子器件直接寫入基板上，從而優(yōu)化器件性能和集成度。

細(xì) 觀 力學(xué)：生產(chǎn)具有高精度和可靠性的復(fù)雜微機械結(jié)構(gòu)。

生物醫(yī)學(xué)工程：制造針對特定應(yīng)用量身定制的復(fù)雜生物醫(yī)學(xué)設(shè)備和支架。

量子器件：開發(fā)高精度和定制化的先進量子器件，用于沿研究和應(yīng)用。

3.特色參數(shù)：

高精度和高吞吐量：以低至 100 nm 的小特征尺寸實現(xiàn)高的精度。受益于掃描速度超過 1000 mm/s 的高速 3D 打印以及體素調(diào)優(yōu)。

多種材料兼容性：利用 522 nm 的強大飛激光系統(tǒng)高效處理各種聚合物。利用經(jīng)過行業(yè)驗證的ORMOCER®雜化聚合物，具有好的光學(xué)、機械和化學(xué)性能。

免拼接微光學(xué)元件：通過無限視場 （IFoV） 制造模式，無需拼接即可創(chuàng)建精確的微光學(xué)元件。

模塊化3D打印平臺：在 3D 光刻和 3D 顯微打印之間無縫切換，具有特定于應(yīng)用的寫入模式和基板支架。制造高度超過 1 cm 的宏觀結(jié)構(gòu)和表面粗糙度低至 10 nm 的微觀結(jié)構(gòu)。

體素調(diào)優(yōu)功能：在掃描過程中對體素尺寸進行微調(diào)，以減少所需的層數(shù)。