碳化硅高溫退火爐

1、公司介紹

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司成立于 2020年，由武漢大學(xué)團(tuán)隊(duì)孵化，致力泛半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)線、中試線、生產(chǎn)線裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)于一體的國家高新技術(shù)企業(yè)、創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)。

公司主要業(yè)務(wù)如下:

裝備銷售:半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試裝備、半導(dǎo)體光電測試儀表。

設(shè)備服務(wù):駐場或者 oncall，裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持。

廠務(wù)服務(wù):駐場或者 oncall，人力服務(wù)及廠務(wù)二次配工程。

經(jīng)歷五年高速發(fā)展，2023 年?duì)I業(yè)額達(dá) 3.2 億，連年復(fù)合增長率達(dá) 300%，現(xiàn)處于穩(wěn)定擴(kuò)張期。

2、成長歷程

•2020年（公司成立年）

•2300萬訂單額

2021年 7000萬訂單額

2022年 2.5億訂單額

2023年3.2億訂單額

VERIC A6151A 碳化硅高溫退火爐

1、適用于碳化硅高溫激活 & 退火的設(shè)備

SiC high temperature activation & annealing equipment

2、最高溫度 2000℃，升溫速率可達(dá) 100℃/min

Max.temp 2000℃, Max.ramp rate100℃/min

3、石墨電阻加熱，工藝腔室潔凈

Graphite resistance heating, high cleanliness chamber

4、自動裝片，Cassette to Cassette

Automatic loading, cassette to cassette

5、SEMI S2/S6 認(rèn)證

SEMI S2/S6 certification

技術(shù)參數(shù)

1、晶圓尺寸 4/6 英寸兼容

2、適用材料 碳化硅、氮化鋁

3、適用工藝 注入后激活、Ar 退火、Ar/H2 退火、溝槽平滑

4、適用領(lǐng)域 科研、化合物半導(dǎo)體