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    電鍍設(shè)備

    簡要描述:電鍍設(shè)備 應(yīng)用領(lǐng)域:Pillar,Bump,RDL,TSV等工藝
    (3) 設(shè)備配置: 最多3個loadport ; 最多24個電鍍腔體:Cu、Ni、Sn/Ag、Au ; 最多4個預(yù)濕腔體,4個清洗腔體 ; 水平式電鍍腔體,無交叉污染 ; 支持模塊化維護,提高設(shè)備正常運行時間

    • 產(chǎn)品型號:customized
    • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    • 更新時間:2024-09-06
    • 訪  問  量: 876

    詳細(xì)介紹

    1. 產(chǎn)品介紹

    電鍍設(shè)備

    2. 應(yīng)用領(lǐng)域

    Pillar,Bump,RDL,TSV等工藝

    3. 晶圓尺寸

    150mm~300mm

    4. 工藝指標(biāo)

    高度均勻性:WiW≤5%  WtW≤5%  RtR≤5%

    5. 設(shè)備配置

    最多3個loadport

    最多24個電鍍腔體:Cu、Ni、Sn/Ag、Au

    最多4個預(yù)濕腔體,4個清洗腔體

    水平式電鍍腔體,無交叉污染

    支持模塊化維護,提高設(shè)備正常運行時間

    橡膠密封技術(shù),更佳密封性能

    陰陽極分離技術(shù),更佳鍍液穩(wěn)定性

    6. 企業(yè)概括

    深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

    致力于提供半導(dǎo)體制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

    公司已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。








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