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由德國(guó)UNITEMP研發(fā)的用于 200 毫米(8 英寸)晶圓尺寸或 M10 182 x 182 毫米太陽(yáng)能硅片的快速退火爐RTP-200。
由德國(guó)UNITEMP研發(fā)符合高真空標(biāo)準(zhǔn)的快速退火爐,升溫速率高達(dá) 75 K/sec。,升溫速率高達(dá) 150 K/sec。主要特點(diǎn):良好的溫度均勻性、精確控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工藝周轉(zhuǎn)時(shí)間短、舒適的氣體控制、臺(tái)式系統(tǒng),占地面積小。
由德國(guó)UNITEMP研發(fā)的真空快速退火爐RTP-150-EP,升溫速率高達(dá) 150 K/sec。主要特點(diǎn):良好的溫度均勻性、精確控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工藝周轉(zhuǎn)時(shí)間短、舒適的氣體控制、臺(tái)式系統(tǒng),占地面積小。
由德國(guó)UNITEMP研發(fā)的快速退火爐RTP-150,升溫速率高達(dá) 75 K/sec。主要特點(diǎn):良好的溫度均勻性、精確控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工藝周轉(zhuǎn)時(shí)間短、舒適的氣體控制、臺(tái)式系統(tǒng),占地面積小
由德國(guó)UNITEMP研發(fā)的符合高真空標(biāo)準(zhǔn)的快速退火爐,升溫速率高達(dá) 200 K/sec。主要特點(diǎn):良好的溫度均勻性、精確控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工藝周轉(zhuǎn)時(shí)間短、舒適的氣體控制、臺(tái)式系統(tǒng),占地面積小