量產(chǎn)用刻蝕設(shè)備NE-5700/NE-7800 量產(chǎn)用刻蝕設(shè)備NE-5700/NE-7800是可以對(duì)應(yīng)單腔及多腔、重視性價(jià)比擁有擴(kuò)展性的刻蝕設(shè)備。

濺射鍍膜設(shè)備SMD系列（立式） SMD 系列是鍍金屬膜、ITO、IGZO、誘電體膜等的枚葉式濺射鍍膜設(shè)備。僅SMD系列就有超過1000臺(tái)的豐富的采用實(shí)績(jī)，在各種各樣的生產(chǎn)環(huán)境下運(yùn)轉(zhuǎn)。及時(shí)反映從生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)聽取的意見，進(jìn)一步提高設(shè)備的可靠性。

Load-lock式濺射設(shè)備是可對(duì)應(yīng)從研究開發(fā)到小規(guī)模量產(chǎn)的濺射設(shè)備。這種設(shè)備通過在真空濺射室之前增加一個(gè)預(yù)真空鎖室（Load-lock chamber），實(shí)現(xiàn)了基片在預(yù)真空環(huán)境下進(jìn)行快速裝卸，同時(shí)保持了濺射室的高真空狀態(tài)。

批次式濺射設(shè)備SV系列 SV系列為縱型batch式濺射設(shè)備。為可以處理大量基板的回轉(zhuǎn)型設(shè)備。

枚葉式等離子CVD設(shè)備CMD系列 CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚葉式CVD設(shè)備。

Load-lock式Plasma CVD設(shè)備 CC-200/400 Load-lock式Plasma CVD設(shè)備CC-200/400是小型的使用便利的可對(duì)應(yīng)從研究開發(fā)到量產(chǎn)的設(shè)備。