枚葉式PECVD設備CME-200E/400 枚葉式PE-CVD設備CME-200E/400是適用于Si系絕緣膜、barrier膜等成膜的量產(chǎn)用PECVD設備。

縱向式Cat-CVD設備CCV系列CCV Series是a-Si鍍膜用的縱向式CVD設備。有30年以上的量產(chǎn)實績。在各個chamber通過低壓鍍膜，得到高品質(zhì)的膜質(zhì)。

卷繞式真空蒸鍍設備 EW系列 塑料薄膜、紙、金屬箔等連續(xù)卷繞的同時，對金屬和氧化物進行蒸鍍的成膜設備。從小型的實驗機到大量的生產(chǎn)設備，此外，還提供一系列用于包裝材料，電容器，磁帶等其他應用的型號。

卷繞式濺射設備SPW系列 SPW系列設備，是可在塑料薄膜上進行光學膜、金屬膜等多層成膜的卷繞式設備。實施成膜室間的氣氛分隔，可以使高性能的多層膜一次性成膜。

有機EL成膜設備SOLCIET, SATELLA, ZELDA系列。ULVAC面向有機EL材料開發(fā)提供實驗用設備系統(tǒng)到量產(chǎn)Cluster系統(tǒng)設備和Inline系統(tǒng)設備。

RIE-1C是用于半導體芯片故障分析的緊湊型刻蝕設備。可以高效、低損傷地去除鈍化膜。它操作簡單，樣品放置后只需按一下按鈕就可以完成整個過程?？梢苑旁谧烂嫔?，也可以選擇用支架。