硅芯清洗機(jī)

1. 產(chǎn)品概述：

英思特硅芯清洗機(jī)是專門用于硅芯清洗的設(shè)備，通過一系列特定的清洗工藝和技術(shù)，有效去除硅芯表面的雜質(zhì)、污垢、氧化物等，以達(dá)到硅芯在半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域應(yīng)用所需的高潔凈度要求。它通常由清洗槽、漂洗槽、干燥系統(tǒng)、傳輸系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等部分組成，各部分協(xié)同工作，實現(xiàn)對硅芯的自動化清洗流程。

2. 設(shè)備應(yīng)用：

· 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)：在半導(dǎo)體芯片制造中，硅芯是重要的基礎(chǔ)材料。硅芯清洗機(jī)用于清洗硅芯，為后續(xù)的外延生長、摻雜等工藝提供潔凈的硅芯表面，確保芯片的質(zhì)量和性能。例如，在制造高純度的半導(dǎo)體器件時，硅芯表面的潔凈度直接影響到器件的電學(xué)性能和可靠性。

· 光伏產(chǎn)業(yè)：用于光伏電池生產(chǎn)中硅芯的清洗，提高硅芯的表面質(zhì)量，從而提升光伏電池的轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。

3. 設(shè)備特點：

1.產(chǎn)品用途:適用于2"~8"硅芯清洗

2.設(shè)備介紹:本設(shè)備為柜體式腐蝕機(jī),整臺設(shè)備均采用進(jìn)口件.

基本材質(zhì):箱體材質(zhì):德國茲白色聚丙烯(PP)

門板材質(zhì):德國透明聚氯乙烯(PVC)

腐蝕槽材質(zhì):德國自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)

清洗槽材質(zhì):德國自然色聚丙烯板(NPP)

腐蝕槽配有美國聚四佛乙烯加熱器,虹吸上排,傳感器

清洗槽配有溢流裝置和N2鼓泡裝置

整機(jī)外形美觀,實用

3.設(shè)備外形尺寸:2000X1000X1800(mm)

4.設(shè)備重量:8000Kg(約)

5,設(shè)備控制方式: PLC結(jié)合操作觸摸屏控制

6.設(shè)備動力條件:電源:380VAC+-10%頻率 50HZ+-10%,三相五線制

整機(jī)額定電功率(參考):20KW

電氣性能:E級,并有良好的接地

水工:壓力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口徑DN25

DIW:壓力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),電阻率15MDN25

氣源壓縮空氣:0.3~0.5MPa,口徑3/8"(配有水分離器)

排廢:DN50

排廢酸:DN40

排風(fēng):DN200

環(huán)境要求:空氣溫度5-40°C;相對濕度:80