沉積和金屬化系統(tǒng)

Kurt J. Lesker Company Mini SPECTROS™是基于主力SPECTROS平臺(tái)的下一代薄膜沉積系統(tǒng)。SPECTROS平臺(tái)在全球擁有100多臺(tái)設(shè)備，是一種成熟、堅(jiān)固和多功能的設(shè)計(jì)。Mini SPECTROS建立在原始設(shè)計(jì)的成功基礎(chǔ)上，改進(jìn)了系統(tǒng)基礎(chǔ)壓力和抽空時(shí)間。技術(shù)的腔室設(shè)計(jì)、具有高級(jí)編程功能的行業(yè)最佳軟件控制系統(tǒng)、實(shí)時(shí)配方線(xiàn)程操作以及用于優(yōu)化薄膜性能的眾多功能，這些都是這種創(chuàng)新的設(shè)計(jì)提供的一些關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)。®

Mini SPECTROS™與以下技術(shù)兼容：

• 1cc 或 10cc LTE 信號(hào)源（除熱源外，最多 4 個(gè)信號(hào)源）

• 4 英寸熱源（除 LTE 源外，最多 4 個(gè)源）

• TORUS 磁控濺射源（最多 6 個(gè) 2“ 或 3" 離子源）®

• 電子束蒸發(fā)源（4口袋8cc，8口袋12cc，6口袋20cc）

• 上述技術(shù)的組合也可用。

• 可根據(jù)要求提供定制配置

TORUS離子源在典型的濺射壓力（< 20 mTorr）下運(yùn)行，并利用硅晶圓進(jìn)行沉積。氧化硅®2目標(biāo)運(yùn)行射頻功率，膜厚 >=500?。鋁目標(biāo)使用直流電源運(yùn)行，膜厚 >=1500?。Ni Target 使用高強(qiáng)度 TORUS 和直流電源運(yùn)行，膜厚 >=1500?。®

KJLC 電子束沉積運(yùn)行利用 Si 晶圓進(jìn)行沉積。Ti蒸發(fā)材料，膜厚>=1500?。

• 所有薄膜均在正確校準(zhǔn)的輪廓儀、反射儀或橢圓儀（如果適用）上進(jìn)行測(cè)量。

• 測(cè)量點(diǎn)從基板的中心開(kāi)始，然后每 0.5 英寸（12.7 毫米）徑向外徑向外，標(biāo)稱(chēng)值（右側(cè)參考圖）。

• 均勻性計(jì)算公式為：（（最大 - 最?。?（2 x 平均值）） x 100%，帶 0.2 英寸 （5mm） 邊緣排除。