濺射或熱蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)

Kurt J. Lesker Company® NANO 36™ 是我們優(yōu)化的入門級沉積系統(tǒng)。我們的腔室設(shè)計特別適合手套箱集成。NANO 36 具有更高的功能和更小的占地面積，提供了實惠的價格點，同時保持了您期望從 KJLC 獲得的質(zhì)量。

NANO 36 與以下沉積技術(shù)兼容：

• 熱蒸發(fā)（最多四個 2 英寸船組件）。

• Torus® 磁控濺射源（最多三個 2“ 或 3" 源）。

• 1cc 或 10cc LTE 有機沉積源（最多四個）。

• 兩個熱源和兩個 LTE 源的組合。

• 可根據(jù)要求提供定制配置。

NANO 36 提供 Pfeiffer 260 L/s 渦輪分子泵和 KJLC RV206 油封粗泵作為標準組件，并可選擇 Edwards nXDS6i - 3.6 cfm （6.2 m）3/hr） 渦旋粗抽泵。

NANO 36 的基本壓力規(guī)格為 9 x 10-7托。

Nano 36 提供單一和多種技術(shù)沉積選項（僅限熱 + LTE），包括熱蒸發(fā)和磁控濺射 （Torus）。

只有 KJLC 提供 Mag-Keeper 濺射源，該濺射源在陰極體中具有零 O 形圈和磁耦合靶材，可輕松更換靶材。（通過手套箱改變目標時的游戲規(guī)則改變者！我們的冷卻井設(shè)計可在 200 瓦/.in2 ≥功率密度下運行。該陰極設(shè)計用于在 3 英寸陰極上濺射高達 0.375 英寸厚的目標，在 2 英寸陰極上濺射高達 0.250 英寸厚的目標。高強度設(shè)計能夠濺射高達 0.125 英寸厚的 Fe 靶材和 3 英寸陰極，或 0.0625 英寸厚的 Fe 靶材和 2 英寸的 Mag-Keepers。如果沒有壓緊夾或暗空間屏蔽，這種陰極能夠運行≤低至 1mTorr。圓頂百葉窗設(shè)計消除了標準翻轉(zhuǎn)或擺動百葉窗所需的額外交叉污染屏蔽需求。