等離子增強(qiáng)原子層沉積PEALD

1. 用于高研究的先進(jìn)能力

我們的 Fiji® 系列是一種先進(jìn)的模塊化、高真空熱原子層沉積（ALD）系統(tǒng)，專為滿足當(dāng)今快速發(fā)展的技術(shù)需求而設(shè)計(jì)。該系列系統(tǒng)以其靈活的架構(gòu)著稱，能夠支持多種驅(qū)體和等離子體氣體配置，使用戶能根據(jù)具體的沉積要求進(jìn)行精確調(diào)整。這種適應(yīng)性使得 Fiji® 系列在各種薄膜材料的沉積應(yīng)用中表現(xiàn)出色，特別適合于半導(dǎo)體、太陽能電池、光電器件以及納米技術(shù)等領(lǐng)域。

作為該系列的最新產(chǎn)品，Fiji G2 是一款下一代 ALD 系統(tǒng)，以其性能和創(chuàng)新的技術(shù)再次提升了原子層沉積的標(biāo)準(zhǔn)。Fiji G2 不僅能夠執(zhí)行熱成像沉積，還支持等離子體增強(qiáng)沉積（PEALD），為用戶提供更廣泛的沉積模式選擇。這一特性使得該系統(tǒng)在處理對(duì)膜質(zhì)量和厚度的應(yīng)用時(shí)，具有更大的靈活性和優(yōu)勢(shì)。

Fiji® 系列的直觀用戶界面使得操作和監(jiān)控過程變得簡單方便，用戶可以隨時(shí)輕松地監(jiān)控系統(tǒng)狀態(tài)，并根據(jù)需要實(shí)時(shí)調(diào)整配方和處理流程。這種直觀性不僅降低了操作復(fù)雜度，還大大提高了生產(chǎn)效率，幫助用戶快速響應(yīng)市場需求變化。

2. FIJI的高功能包括：

有的腔室渦輪增壓泵系統(tǒng)

改進(jìn)的等離子體設(shè)計(jì)

符合人體工程學(xué)的操作界面

原位橢圓偏振儀

原位石英晶體微天平

綜合臭氧

手套箱接口

Fiji® 提供多達(dá) 6 條驅(qū)體管線，可容納固體、液體或氣體驅(qū)體，以及 6 條等離子氣體管線，在緊湊且經(jīng)濟(jì)的占地面積中提供了顯著的實(shí)驗(yàn)靈活性。