分子束外延MBE

簡要描述：GEN2000® MBE 系統(tǒng)提供吞吐量、更長的活動周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設(shè)備大批量生產(chǎn)以及需要以低擁有成本生產(chǎn) 6 英寸的新興應用的理想選擇。

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詳細介紹

1. 產(chǎn)品概述：

GEN2000® MBE 系統(tǒng)提供的吞吐量、更長的活動周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設(shè)備大批量生產(chǎn)以及需要以低擁有成本生產(chǎn) 6 英寸的新興應用的理想選擇。

提供業(yè)界低的單片晶圓成本

設(shè)計使占地面積比同類 MBE 系統(tǒng)小 40% 至 60%

模塊化架構(gòu)允許多兩個生長模塊，從而提高產(chǎn)量或允許處理不相容的材料

易于維護，可大限度地延長正常運行時間

可選的隔板安裝優(yōu)化了潔凈室空間

集成了業(yè)界具創(chuàng)新性、可靠的系統(tǒng)硬件、源和組件

GEN2000® MBE 系統(tǒng)提供吞吐量、更長的活動周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設(shè)備大批量生產(chǎn)以及需要以低擁有成本生產(chǎn) 6 英寸的新興應用的理想選擇。

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