光譜橢偏儀

1. 產(chǎn)品概述：

UNECS系列是可以高速、高精度測(cè)量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用的測(cè)量方式，實(shí)現(xiàn)了高速測(cè)量和機(jī)體的小型化。

我們的產(chǎn)品陣容包括便攜式，自動(dòng)式和對(duì)應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型。

2. 特點(diǎn)

高速測(cè)定
快照方法可實(shí)現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測(cè)量。

適用于可見(jiàn)光譜：
波長(zhǎng)范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型（530nm至750nm）和可見(jiàn)光譜類型（380nm至760nm）。

緊湊型傳感器單元：
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護(hù)。

豐富的產(chǎn)品陣容：
產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛，包括如便攜類型，手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。

3. 用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數(shù)的測(cè)量