激光橢圓儀

1. 產(chǎn)品概述

SE 401adv 通過映射高達(dá) 200 毫米的液體單元、用于原位測量的液體單元、攝像機(jī)、自動(dòng)對焦、模擬軟件和經(jīng)過認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)晶圓，可根據(jù)您的需求進(jìn)行調(diào)整。

2. 主要功能與優(yōu)勢

亞埃精度

穩(wěn)定的氦氖激光器保證了 0.1 ? 的精度，用于超薄單層的薄膜厚度測量。

高速

SENTECH SE 401adv 激光橢偏儀的測量速度使用戶能夠監(jiān)測單片生長和終點(diǎn)檢測，或繪制樣品的均勻性圖譜。

測量的橢圓角具有高穩(wěn)定性和再現(xiàn)性

原位橢偏儀 SE 401adv 可用于監(jiān)測反射樣品表面不同環(huán)境因素的生長和蝕刻過程。它測量橢圓角度 Ψ 和 Δ 的時(shí)間依賴性，并實(shí)時(shí)計(jì)算厚度和折射率 

3. 靈活性和模塊化

SENTECH SE 401adv 原位激光橢偏儀可用于從可選的、特定于應(yīng)用的入射角表征單個(gè)薄膜和基板。自動(dòng)準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡可確保在大多數(shù)具有平坦反射表面的吸收性或透明基材上進(jìn)行精確測量。集成的多角度測量支持（40° – 90°，步長為 5°）可用于確定層堆疊的厚度、折射率和消光系數(shù)。

SENTECH SE 401adv是用于超薄單膜厚度測量的激光橢偏儀。SENTECH SE 401adv 原位激光橢偏儀的選件支持微電子、光伏、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、顯示技術(shù)、生命科學(xué)、金屬加工以及更多沿技術(shù)中的應(yīng)用。

SENTECH SE 401adv 通過映射高達(dá) 200 毫米的液體單元、用于原位測量的液體單元、攝像機(jī)、自動(dòng)對焦、模擬軟件和經(jīng)過認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)晶圓，可根據(jù)您的需求進(jìn)行調(diào)整。