自動(dòng)光譜反射儀

1. 產(chǎn)品概要

SENTECH RM 1000 QC反射儀設(shè)計(jì)用于快速簡單地測(cè)量透明或吸收基材上的透明和半透明薄膜的厚度，用于工業(yè)生產(chǎn)過程中的質(zhì)量控制。該工具涵蓋 20 nm 至 50 μm 的膜厚范圍，可用于< 100 μm 的測(cè)試圖案。

2. 主要功能與優(yōu)勢(shì)

半自動(dòng)桌面質(zhì)量控制

SENTECH RM 1000 QC是一款光學(xué)反射儀，用于對(duì)圖案化基板上的薄膜和散裝材料進(jìn)行質(zhì)量控制。它是小規(guī)模和大規(guī)模生產(chǎn)中隨機(jī)抽樣、工具鑒定和統(tǒng)計(jì)過程控制 （SPC） 的理想選擇。

通過手動(dòng)晶圓處理對(duì)圖案化晶圓進(jìn)行質(zhì)量控制

SENTECH RM 1000 QC 易于手動(dòng)裝載。然后，對(duì)于圖案化的 200 mm 晶圓，模式識(shí)別、映射測(cè)量、分析以及報(bào)告結(jié)果和統(tǒng)計(jì)信息都自動(dòng)化。

集成到實(shí)驗(yàn)室和晶圓廠環(huán)境中

SENTECH RM 1000 QC 可選擇通過 SECS/GEM 集成到制造執(zhí)行系統(tǒng)中。

3. 靈活性和模塊化

SENTECH RM 1000 QC 光譜反射儀提供法向入射的反射率光譜，SENTECH SpectraRay/4 軟件分析的參數(shù)包括薄膜厚度、吸收、成分、能隙、顏色和光譜帶寬。模式識(shí)別用于測(cè)量結(jié)構(gòu)化樣本。

該工具的操作流程其簡單，只需放置晶圓，啟動(dòng)自動(dòng)化過程，工具就會(huì)返回準(zhǔn)確的模式識(shí)別、測(cè)量和映射，以及精確、可重復(fù)的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。

SpectraRay/4 是用于 SENTECH RM 1000 QC 的綜合光譜橢偏儀軟件。它包括兩種操作模式：配方模式和交互模式。配方模式允許輕松執(zhí)行常規(guī)應(yīng)用程序。交互模式通過交互式圖形用戶界面引導(dǎo)橢圓測(cè)量。