條形等離子清潔系統(tǒng)

1.產(chǎn)品特點

80 Plus 條形等離子清潔系統(tǒng)為半導(dǎo)體加工而開發(fā)，可支持手動及自動操作，兩種操作方式均簡單易用。該系統(tǒng)可以配備或不配備裝卸站；此外，每個裝卸站都可支持不同的配置。即便沒有裝卸站，也可將其集成到生產(chǎn)線中。

2.產(chǎn)品配置

該軟件直觀，滿足當(dāng)半導(dǎo)體行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)，其主要應(yīng)用域是表面的活化和清潔。80 Plus系統(tǒng)操作十分高效，加上其等離子技術(shù)，使用它進行等離子處理只需幾即可完成。

通過使用該系統(tǒng)進行等離子處理，可以快速有效地清除晶圓表面的雜質(zhì)和污染物。這有助于提高晶圓的質(zhì)量和性能，并確保生產(chǎn)過程中的穩(wěn)定性和一致性。

另外，80 Plus系統(tǒng)還具有智能控制功能，可根據(jù)實際需要進行參數(shù)調(diào)整。這使得用戶可以根據(jù)不同的加工要求來優(yōu)化處理過程，并獲得佳的加工效果。

除了晶圓表面清潔功能外，80 Plus系統(tǒng)還可以用于其他應(yīng)用域。例如，在光伏行業(yè)中，它可以用于太陽能電池片的制造過程中，提高電池片的效率和穩(wěn)定性。

PVA TePla 提供研發(fā)和合同代加工的廣泛應(yīng)用服務(wù)。 許多客戶利用這些服務(wù)進行臨床試驗和中小型生產(chǎn)。

80 Plus 等離子系統(tǒng)提供兩種電配置

離子配置：射頻為 13.56 MHz 的電磁輻射通過電被送入腔室，以便通過加速離子實現(xiàn)表面轟擊。除了這種物理效應(yīng)，還有一種化學(xué)效應(yīng)，但它比使用微波頻率時獲得的效果要小。

千兆配置：如果等離子設(shè)備配備微波發(fā)生器，則使用 2.45 GHz 的頻率。腔室中沒有電；微波在真空室外部產(chǎn)生，然后通過天線或波導(dǎo)輸入。具有這種配置的等離子體以純化學(xué)方式工作。