薄膜計(jì)量激光橢圓儀

1. 產(chǎn)品概述

SENTECH SE 500adv結(jié)合了橢圓偏振法和反射法，消除了測(cè)量透明薄膜層厚的模糊性。它將可測(cè)量的厚度擴(kuò)展到 25 μm。因此，SE 500adv 擴(kuò)展了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀 SE 400adv 的功能，特別適用于分析較厚的電介質(zhì)、有機(jī)材料、光刻膠、硅和多晶硅薄膜。

2. 主要功能與優(yōu)勢(shì)

明確的厚度測(cè)定

橢圓偏振法和反射法的結(jié)合允許通過自動(dòng)識(shí)別循環(huán)厚度周期來快速、明確地確定透明薄膜的厚度。

大的測(cè)量范圍

激光橢偏儀和反射儀的結(jié)合將透明薄膜的厚度范圍擴(kuò)展到 25 μm 或更多，具體取決于所選的光度計(jì)選項(xiàng)。

突破激光橢圓偏振儀的限

多角度手動(dòng)測(cè)角儀具有優(yōu)秀的性能和角度精度，可以測(cè)量單片和層疊的折射率、消光系數(shù)和膜厚。 

3. 靈活性和模塊化

SENTECH SE 500adv 可用作激光橢偏儀、膜厚探頭和 CER 橢偏儀。因此，它提供了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀無法達(dá)到的大靈活性。作為橢圓儀操作，可以執(zhí)行單角度和多角度測(cè)量。當(dāng)作為膜厚探頭操作時(shí)，透明或弱吸收膜的厚度是在正常入射下測(cè)量的。

SE 500adv 中的橢圓偏振法和反射儀 （CER） 組合包括橢偏儀光學(xué)元件、測(cè)角儀、組合反射測(cè)量頭和自動(dòng)準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡、樣品平臺(tái)、氦氖激光源、激光檢測(cè)單元和光度計(jì)。