薄膜計量膜厚探頭

1. 產(chǎn)品概述

FTPadv是一種經(jīng)濟高效的臺式光譜反射解決方案，具有快速厚度測量功能。測量時間不到 100 ms，精度低于 0.3 nm，膜厚范圍為 50 nm – 25 μm。包括一系列預(yù)定義的配方，便于光譜反射儀操作。

2. 主要功能與優(yōu)勢

獲得薄膜厚度的短方法

通過選擇并開始適當(dāng)?shù)呐浞剑?/span>SENTECH FTPadv 反射儀可在不到 100 ms 的時間內(nèi)完成厚度測量，精度小于 0.3 nm，厚度范圍為 30 nm – 25 μm。

AutoModel 功能和基于 SE 的材料庫

通過比較測得的反射光譜和光譜庫，可以將操作員的誤差降低。基于SENTECH的橢圓偏振光譜儀測量的大型材料庫，為新材料的光學(xué)常數(shù)測量提供了方法。

應(yīng)用業(yè)知識

30 多年來，SENTECH 已成功銷售用于各種應(yīng)用的 FTPadv 膜厚探頭。這款臺式反射儀可在工業(yè)或研究環(huán)境中，通過遠(yuǎn)程或直接控制，在低溫或高溫下，原位或在線測量小樣品到大窗玻璃的厚度。

3. 靈活性和模塊化

SENTECH FTPadv的一個關(guān)鍵特性是可以測量多層樣品中任何層的厚度，這使得FTPadv成為膜厚測量的理想、經(jīng)濟高效的解決方案。用于過程控制的FTPadv包括一個帶有柱子和樣品架的光纖束、一個帶鹵素?zé)舻姆€(wěn)定光源以及FTP光學(xué)器件和控制器站。通過LAN連接到PC，可以在惡劣的工業(yè)應(yīng)用環(huán)境、受到特殊保護的房間或大型機械中遠(yuǎn)程控制工具。

反射儀 FTPadv 帶有大量預(yù)定義的配方，例如半導(dǎo)體上的電介質(zhì)、半導(dǎo)體上的半導(dǎo)體、硅上的聚合物、透明基板上的薄膜、金屬基板上的薄膜等。自動建模功能允許通過與光譜庫進行比較來快速檢測樣品類型。該反射儀將操作員錯誤降低。通過光學(xué)反射測量薄膜厚度從未如此簡單。

FTPadv菜單驅(qū)動的操作軟件允許在出色的操作員指導(dǎo)下對單層和多層結(jié)構(gòu)進行厚度測量。此外，它還具有強大的分析工具和出色的報告功能。額外的映射軟件可用于控制電動樣品臺。將軟件升到軟件包FTPadv EXPERT，用于反射測量的高分析，通過應(yīng)用具有未知或不同光學(xué)特性的材料，擴展了標(biāo)準(zhǔn)軟件包。因此，可以進行厚度測量以及單片薄膜的折射率和消光系數(shù)分析。