等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD

1. 產(chǎn)品概述

PlasmaPro 800是一款先進(jìn)的等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備，專(zhuān)為大批量晶圓和300mm晶圓的生產(chǎn)需求而設(shè)計(jì)，提供了靈活且高效的處理解決方案。它引入了緊湊的開(kāi)放式裝載系統(tǒng)，使得操作更加便捷，同時(shí)提升了生產(chǎn)效率，適應(yīng)各種制造環(huán)境。

該設(shè)備配備了460mm直徑的工作臺(tái)，具備處理整片300mm晶圓的能力，同時(shí)能夠高效處理大批量的43 x 50mm（2"）小晶圓，通過(guò)這一設(shè)計(jì)，PlasmaPro 800能夠滿(mǎn)足不同尺寸晶圓的生產(chǎn)需求，為用戶(hù)提供全面的量產(chǎn)解決方案。這種高適應(yīng)性的特點(diǎn)讓用戶(hù)能夠靈活應(yīng)對(duì)不斷變化的市場(chǎng)需求，特別是在大規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境中表現(xiàn)尤為突出。

此外，PlasmaPro 800以其出色的性能和可靠性贏得了市場(chǎng)的廣泛認(rèn)可。它支持多種材料的沉積工藝，能夠應(yīng)用于諸如光電設(shè)備、微電子器件、MEMS等多個(gè)領(lǐng)域，為客戶(hù)的創(chuàng)新研發(fā)和產(chǎn)品制造提供強(qiáng)大動(dòng)力。

綜合來(lái)看，PlasmaPro 800不僅在技術(shù)上實(shí)現(xiàn)了突破，還通過(guò)其靈活的配置和高效的操作方式，將大批量晶圓的生產(chǎn)推向新的高度，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展提供了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

2. 特色參數(shù)

高性能工藝

準(zhǔn)確的襯底溫度控制

準(zhǔn)確的工藝控制

成熟的300mm單晶圓失效分析工藝

3. 為化合物半導(dǎo)體、光電子和光子學(xué)應(yīng)用提供了更為靈活的工藝，PlasmaPro 800 可提供：

大型電 - 低成本

刻蝕終點(diǎn)監(jiān)測(cè) - 可靠性和可維護(hù)性俱佳

通過(guò)激光干涉儀與/或發(fā)射光譜進(jìn)行終點(diǎn)監(jiān)測(cè) - 增強(qiáng)刻蝕控制

可選擇帶有4-、8-或12-條氣路的氣柜 - 可提供靈活的工藝和工藝氣體，可以與主機(jī)分離，放置在遠(yuǎn)端服務(wù)區(qū)

近距離耦合渦輪泵 - 提供優(yōu)秀的泵送速度加快氣體的流動(dòng)速度

數(shù)據(jù)記錄 - 追溯腔室的歷史狀態(tài)以及工藝條件

液體冷卻和/或電加熱電 - 出色的電溫度控制和穩(wěn)定性