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    半自動雙軸減薄機

    簡要描述:半自動雙軸減薄機是一款安裝兩個砂輪軸的高精度研削設備,采用手動裝片方式,配置自動厚度測量和補償系統(tǒng),產品粗磨后移動至精磨位置,自動研削至目標值。工作臺可根據(jù)客戶需求進行定制化,應用廣泛。

    • 產品型號:IVG-2035/3035
    • 廠商性質:經銷商
    • 更新時間:2024-09-05
    • 訪  問  量: 344

    詳細介紹

    1 產品概述:

    半自動雙軸減薄機是一款高精度研削設備,它安裝了兩個砂輪軸,以提供更為靈活和高效的研削能力。該設備通過手動裝片方式操作,并配備了自動厚度測量和補償系統(tǒng),確保研削過程中的精度和一致性。半自動雙軸減薄機的工作臺可根據(jù)客戶需求進行定制化設計,以滿足不同尺寸和材料的加工需求。

    2 設備用途:

    半自動雙軸減薄機主要用于半導體制造、硅片加工、光學材料處理及薄膜材料制備等領域。其主要用途包括:

    1. 半導體制造:在半導體晶圓的制造過程中,對晶圓進行精確減薄,以滿足后續(xù)工藝對晶圓厚度的嚴格要求。

    2. 硅片加工:對硅片進行高精度研削,調整硅片厚度,提高硅片的質量和加工效率。

    3. 光學材料處理:在光學元件的制備過程中,對光學材料進行精確減薄,以滿足光學元件對材料厚度和表面粗糙度的特殊要求。

    4. 薄膜材料制備:在薄膜材料的制備過程中,半自動雙軸減薄機可用于對薄膜進行精確控制厚度的研削加工。

    3. 設備特點

    半自動雙軸減薄機具有以下幾個顯著特點:

    1. 高精度:采用優(yōu)良的研削技術和精密的控制系統(tǒng),確保研削過程的高精度和一致性。厚度在線測量重復精度可達±0.001 mm,滿足高精度加工需求。

    2. 雙軸研削單元:配備兩個砂輪軸,能夠同時進行粗磨和精磨操作,提高加工效率,并減少工件在不同工序間的轉移時間。

    3. 自動厚度測量和補償系統(tǒng):實時測量工件厚度,并根據(jù)測量結果自動調整研削量,確保研削后的工件厚度達到預定目標值。

    4. 定制化工作臺:工作臺可根據(jù)客戶需求進行定制化設計,以適應不同尺寸和材料的加工需求,提高設備的靈活性和適用性。

    綜上所述,半自動雙軸減薄機以其高精度、雙軸研削單元、自動厚度測量和補償系統(tǒng)、定制化工作臺、操作靈活以及良好的兼容性等特點,在半導體制造、硅片加工、光學材料處理及薄膜材料制備等領域發(fā)揮著重要作用。

    4  設備參數(shù):


    項目

    IVG-2035

    IVG-3035

    大晶圓尺寸

    8 英寸

    12 英寸

    砂輪規(guī)格

    ?203(OD)mm

    ?303(OD)mm

    砂輪軸功率

    6.0 KW

    9.5 KW

    砂輪軸轉速范圍

    0~6000 RPM

    0~4000 RPM

    工作臺轉速

    0~400 RPM

    0~260 RPM

    Z軸進給速度

    0.1~1000 um /sec

    0.1~1000 um /sec

    厚度在線測量重復精度

    ±0.001 mm

    ±0.001 mm

    厚度在線測量范圍(OMM

    0-4800um

    0-4800um

    NCG非接觸實時測厚系統(tǒng)

    可選配

    可選配





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