半自動(dòng)單軸減薄機(jī)

簡(jiǎn)要描述：半自動(dòng)單軸減薄機(jī)是一款操作簡(jiǎn)單、功能豐富、性價(jià)比高的高精度研削設(shè)備，采用手動(dòng)裝片方式，配置自動(dòng)厚度測(cè)量和補(bǔ)償系統(tǒng)，可自動(dòng)研削至目標(biāo)值。工作臺(tái)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化，應(yīng)用廣泛。

產(chǎn)品型號(hào)：IVG-2020/3020
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2024-08-13
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半自動(dòng)單軸減薄機(jī)是一款操作簡(jiǎn)單、功能豐富、性價(jià)比高的高精度研削設(shè)備，采用手動(dòng)裝片方式，配置自動(dòng)厚度測(cè)量和補(bǔ)償系統(tǒng)，可自動(dòng)研削至目標(biāo)值。工作臺(tái)可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化，應(yīng)用廣泛。

功能全面

自動(dòng)厚度測(cè)量多段研削程序超負(fù)載等待

操作靈活

人工取放片干進(jìn)濕出

兼容性好

可磨削各類半導(dǎo)體材料適應(yīng)2-12英寸晶圓減薄

性能參數(shù)

項(xiàng)目	IVG-2020	IVG-3020
最大晶圓尺寸	8 英寸	12 英寸
砂輪規(guī)格	?203(OD)mm	?303(OD)mm
砂輪軸功率	6.0kW	9.5kW
砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍	0~6000 RPM	0~4000 RPM
工作臺(tái)轉(zhuǎn)速	0~380 RPM	0~380 RPM
Z軸進(jìn)給速度	0.1~1000 um /sec	0.1~1000 um /sec
厚度在線測(cè)量范圍（OMM）	0-4800um	0-4800um
厚度在線測(cè)量重復(fù)精度	±0.001 mm	±0.001 mm
NCG非接觸實(shí)時(shí)測(cè)厚系統(tǒng)	可選配	可選配