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    等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積

    簡要描述:PlasmaPro 100 Nano
    用于生長1D / 2D納米材料和異質(zhì)結(jié)構(gòu)的CVD / PECVD工具。 PlasmaPro 100 Nano通過在線催化劑活化和嚴(yán)格的工藝控制,實(shí)現(xiàn)納米材料的高性能生長。

    • 產(chǎn)品型號:PlasmaPro 100 Nano
    • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    • 更新時(shí)間:2024-08-12
    • 訪  問  量: 248

    詳細(xì)介紹

    • 更佳的均勻性以及靈活的溫度范圍, 最高可達(dá)1200°C

    • 700°C、800°C或1200°C工作臺可供選擇

    • 樣品尺寸可達(dá)200mm

    • 真空傳送腔——快速更換樣品

    • 冷壁設(shè)計(jì)并輔以可均勻輸送氣體/液體源前驅(qū)體的噴頭

    • 可選的液體/固體源前驅(qū)體輸送系統(tǒng),用于生長MOS2、MOSe2和其它TMDCs材料

    應(yīng)用:

    • 二維材料 生長

    • MoS2 生長

    • 石墨烯 生長

    • 一維材料 生長

    • 碳納米管(CNT)生長

    • 氣柜 —— 包含額外的氣體管線,提供更大的靈活性

    • 渦輪分子真空泵 —— 提供泵送速度加快氣體的流動(dòng)速度

    • 光學(xué)終點(diǎn)探測—— 實(shí)現(xiàn)更好工藝結(jié)果的重要工具

    • TEOS液位傳感 —— 使用安裝在TEOS罐上的超聲波液位傳感器實(shí)現(xiàn)液位傳感




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