激光光刻機(jī).

1. 產(chǎn)品概述

MPO 100是海德堡儀器推出的一款先進(jìn)多用戶工具，專門為復(fù)雜微結(jié)構(gòu)的3D光刻和3D顯微打印而設(shè)計(jì)。作為一款頂尖的設(shè)備，MPO 100采用了先進(jìn)的雙光子聚合（TPP）技術(shù)，這一技術(shù)在微光學(xué)、光子學(xué)、微力學(xué)以及生物醫(yī)學(xué)工程等多個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用中表現(xiàn)出色，推動(dòng)了這些領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步和創(chuàng)新。

MPO 100所提供的多功能平臺(tái)，使其在精度和生產(chǎn)效率方面達(dá)到一定水平。它能夠在單一高效的工藝步驟中，快速而準(zhǔn)確地生產(chǎn)出復(fù)雜的功能性微結(jié)構(gòu)。這一特性尤其適用于需要精細(xì)設(shè)計(jì)和高可靠性的應(yīng)用，如高性能光學(xué)元件、微流體器件以及生物傳感器等，滿足市場(chǎng)對(duì)高精度和高效能的需求。

MPO 100的靈活性使得它可以適應(yīng)多種材料和設(shè)計(jì)需求，支持不同用戶的應(yīng)用。此外，該設(shè)備的高吞吐量確保了生產(chǎn)效率，使得科研人員和工程師能夠在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行多次實(shí)驗(yàn)和迭代，從而加速產(chǎn)品開發(fā)和技術(shù)驗(yàn)證。

2. 主要特點(diǎn)

高精度和高吞吐量：以低至 100 nm 的小特征尺寸實(shí)現(xiàn)精度。受益于掃描速度超過 1000 mm/s 的高速 3D 打印以及體素調(diào)優(yōu)。

多種材料兼容性：利用 522 nm 的強(qiáng)大飛激光系統(tǒng)高效處理各種聚合物。利用經(jīng)過行業(yè)驗(yàn)證的ORMOCER®雜化聚合物，具有的光學(xué)、機(jī)械和化學(xué)性能。

免拼接微光學(xué)元件：通過無限視場(chǎng) （IFoV） 制造模式，無需拼接即可創(chuàng)建精確的微光學(xué)元件。

模塊化3D打印平臺(tái)：在 3D 光刻和 3D 顯微打印之間無縫切換，具有特定于應(yīng)用的寫入模式和基板支架。制造高度超過 1 cm 的宏觀結(jié)構(gòu)和表面粗糙度低至 10 nm 的微觀結(jié)構(gòu)。

體素調(diào)優(yōu)功能：在掃描過程中對(duì)體素尺寸進(jìn)行微調(diào)，以減少所需的層數(shù)。

3. 應(yīng)用

微光學(xué)：無需拼接即可創(chuàng)建高精度微光學(xué)元件，確保無縫集成。

光子學(xué)：將光子器件直接寫入基板上，從而優(yōu)化器件性能和集成度。

細(xì)觀力學(xué)：生產(chǎn)具有高精度和可靠性的復(fù)雜微機(jī)械結(jié)構(gòu)。

生物醫(yī)學(xué)工程：制造針對(duì)特定應(yīng)用量身定制的復(fù)雜生物醫(yī)學(xué)設(shè)備和支架。

量子器件：開發(fā)高精度和定制化的先進(jìn)量子器件，用于沿研究和應(yīng)用。