紫外線臭氧清洗機(jī)

UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)。通過滑動(dòng)抽屜將基材裝入系統(tǒng)中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的組合，可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體（GaN、SiC、GaAs、InP）、藍(lán)寶石、陶瓷等各種基材上的有機(jī)物。

• 大加工尺寸為?300mm（?12英寸）。

• 200 - 300 nm/min的高灰化率。

• 加熱階段加快了清洗速度，實(shí)現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。

• 通過調(diào)整平臺(tái)和石英擴(kuò)散板之間的間隙，可以提高基板的均勻性。

• 緊湊，使用小的潔凈室空間

• 簡(jiǎn)單，在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。

• 柔軟、干燥的工藝不會(huì)對(duì)基材造成電損傷。

• 抽屜聯(lián)鎖保證了當(dāng)抽屜打開時(shí)系統(tǒng)無法工作。

• 內(nèi)置臭氧催化劑裝置，可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。

• 塑料包裝和引線框架的表面清潔。

• 復(fù)合半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗。

• 表面改性（潤(rùn)濕性和附著力的改善

• 表面氧化(薄氧化層沉積)

• 光阻劑的灰化、剝離和除塵。

• 清除有機(jī)污染物

• 紫外線固化