12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述：Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)有效提高靶材利用率。

產(chǎn)品型號(hào)：Polaris系列
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2024-09-05
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1. 產(chǎn)品概述

Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)有效提高靶材利用率。

2. 設(shè)備用途/原理

Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)有效提高靶材利用率，靈活的腔室配置，針對(duì)優(yōu)良封裝域優(yōu)化、穩(wěn)定的傳輸系統(tǒng)，兼容玻璃片、翹曲片、鍵合片等多種類型基片傳輸，穩(wěn)定并且低的Rc表現(xiàn)，良好的顆粒和應(yīng)力控制能力，優(yōu)化的工藝流程帶來(lái)大產(chǎn)能表現(xiàn)，低運(yùn)營(yíng)成本。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 12英寸，適用材料銅、鈦、氮化鈦、鉭、氮化鉭、鎢化鈦、金、鋁等，適用工藝電、優(yōu)良封裝中的UBM/RDL，適用域新興應(yīng)用、優(yōu)良封裝。