中央供藥系統(tǒng)

1. 產(chǎn)品概述：

智程中央供藥系統(tǒng)是用于廠內(nèi)供藥的設(shè)備，能夠按照設(shè)定的配比，將特定的藥液通過相應(yīng)的管路供應(yīng)到制程中。它可以精確地控制藥液的輸送和配比，確保生產(chǎn)過程中使用的藥液符合工藝要求。

2. 設(shè)備應(yīng)用：

· 半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體晶圓制造過程中，為各種清洗、蝕刻、沉積等工藝提供精確配比的化學(xué)藥液，如酸性（H?SO?、HCl、HNO?、H?PO?、HF、BOE 等）、堿性（NH?OH、NaOH、KOH 等）、有機（IPA、ACE、去膠、去蠟等）以及拋光液（金剛石拋光液、化學(xué)拋光液等。

· LED 光電行業(yè)：為 LED 芯片的制作過程提供所需的化學(xué)藥液供應(yīng)，助力提升 LED 產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

· 電子行業(yè)：在電路板制造等電子制造環(huán)節(jié)中，提供精確的化學(xué)藥液供應(yīng)，保障生產(chǎn)工藝的順利進行。

3. 設(shè)備特點：

· 供藥配比精確：能夠嚴(yán)格按照設(shè)定的比例進行藥液調(diào)配，確保藥液濃度的準(zhǔn)確性，從而保證生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

· 配方可編輯：配方可以根據(jù)客戶的具體需求進行編輯和確認，具有較高的靈活性，能滿足不同生產(chǎn)工藝對藥液配方的多樣化要求。

· 容量定制化：容量大小可根據(jù)客戶的實際需求進行定制，適應(yīng)不同規(guī)模的生產(chǎn)場景，避免資源浪費或供應(yīng)不足的情況。

· 自動化程度高：實現(xiàn)了自動供藥過程，減少了人工操作帶來的誤差和不確定性，提高了生產(chǎn)效率和供藥的及時性。

· 系統(tǒng)穩(wěn)定性強：經(jīng)過精心設(shè)計和優(yōu)化，具備良好的穩(wěn)定性和可靠性，能夠在長時間的生產(chǎn)過程中穩(wěn)定運行，降低設(shè)備故障對生產(chǎn)的影響。

4. 產(chǎn)品參數(shù)：

· 供藥種類：涵蓋各種適用藥液，如不同類型的酸、堿、有機溶液和拋光液等。

· 配比精度：例如可精確到小數(shù)點后幾位的配比精度。

· 最大供藥流量：反映系統(tǒng)在單位時間內(nèi)能夠供應(yīng)的藥液最大量。

· 儲液罐容量：根據(jù)定制需求，儲液罐的容量有不同規(guī)格。

· 控制方式：如采用優(yōu)良的自動化控制系統(tǒng)，具備精確的參數(shù)設(shè)置和監(jiān)控功能。

· 管路材質(zhì)：使用適合輸送化學(xué)藥液的特殊材質(zhì)管路，確保藥液的穩(wěn)定性和安全性，同時具備良好的耐腐蝕性。

· 實際參數(shù)可能會因設(shè)備的具體配置和定制需求而有所不同。