自動薄膜沉積簇工具

Kurt J. Lesker Company OCTOS集群工具是經(jīng)過驗(yàn)證的研發(fā)和中試生產(chǎn)系統(tǒng)，用于在多個工藝室之間進(jìn)行真空傳輸。®

典型應(yīng)用包括磁隧道結(jié)和自旋邏輯器件（GMR、TMR、MRAM、STT）、有機(jī)發(fā)光器件（OLED）、太陽能電池（PV、OPV）。

OCTOS 集群工具具有單個或多個基板盒負(fù)載鎖定功能，并允許在真空中完成工藝配方步驟，而無需將基材暴露在大氣中。OCTOS能夠自動按順序處理基材，一次處理一個基材，或者并行處理基材，以提高產(chǎn)量。提供底物跟蹤功能，并標(biāo)配全過程數(shù)據(jù)記錄。

工藝室圍繞中央機(jī)器人分配室布置，以適應(yīng)您的應(yīng)用。

KJLC 的 eKLipse 軟件允許用戶友好的配方創(chuàng)建以及可靠、不間斷的控制器，無論計算機(jī)用戶界面的狀態(tài)如何，都可以完成過程。有關(guān)此直觀、可靠的軟件包的更多信息，請參閱“軟件"選項卡

自 1999 年以來，KJLC 一直在制造 OCTOS 集群工具平臺。我們的大多數(shù) OCTOS 集群工具已成為其所有者的主力軍，并且仍在日常使用，包括已經(jīng)處理了超過 100 萬個基材的工具。