分子束外延MBE

簡(jiǎn)要描述：Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設(shè)計(jì)可針對(duì) III-V 族和新興材料進(jìn)行配置，包括需要集成電子束技術(shù)的應(yīng)用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設(shè)計(jì)技術(shù)，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)理想的實(shí)驗(yàn)室到晶圓廠遷移。

產(chǎn)品型號(hào)：GEN20
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2024-09-05
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1. 產(chǎn)品概述：

Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設(shè)計(jì)可針對(duì) III-V 族和新興材料進(jìn)行配置，包括需要集成電子束技術(shù)的應(yīng)用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設(shè)計(jì)技術(shù)，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)理想的實(shí)驗(yàn)室到晶圓廠遷移。

材料研究和預(yù)生產(chǎn)環(huán)境的理想選擇

垂直源到基板方向，具有 12 個(gè) MBE 源端口和添加電子束功能的選項(xiàng)

手動(dòng)或自動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)移選項(xiàng)可配置的低溫板、機(jī)械手、百葉窗和原位監(jiān)測(cè)設(shè)備

模塊化設(shè)計(jì)允許多兩個(gè)增長(zhǎng)模塊

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