MBE分子束外延系統(tǒng)

1. 產(chǎn)品概述：

GENxplor® R&D MBE系統(tǒng)獲得了化合物半導(dǎo)體制造的CSindustry獎(jiǎng)，采用Veeco成熟的3英寸生長(zhǎng)室設(shè)計(jì)，并具有工藝靈活性，非常適合UV LED、高效太陽(yáng)能電池和高溫超導(dǎo)體等新興技術(shù)的材料研究。其高效的單框架設(shè)計(jì)將所有真空硬件與機(jī)載電子設(shè)備相結(jié)合，使其比其他 MBE 系統(tǒng)小 40%，從而節(jié)省寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間。由于手動(dòng)系統(tǒng)集成在一個(gè)框架上，因此減少了安裝時(shí)間。GENxplor的開(kāi)放式架構(gòu)設(shè)計(jì)還提高了易用性，提供了對(duì)積液池的便捷訪問(wèn)，并且與其他MBE系統(tǒng)相比，更容易進(jìn)行維護(hù)。

直徑達(dá) 3 英寸的襯底上的高質(zhì)量外延層

電子束溫度加熱器（>1850°C）

單幀架構(gòu)提高了易用性，提供了便捷的源訪問(wèn)和增強(qiáng)的可服務(wù)性

高效的一體化設(shè)計(jì)將手動(dòng)系統(tǒng)與機(jī)載電子設(shè)備相結(jié)合，與其他 MBE 系統(tǒng)相比，可節(jié)省 40% 的實(shí)驗(yàn)室空間

非常適合對(duì)各種材料進(jìn)行前沿研究，包括砷化鎵、氮化物和氧化物

Molly® 軟件集成了簡(jiǎn)單的配方編寫(xiě)、自動(dòng)生長(zhǎng)控制和始終在線的數(shù)據(jù)記錄

可選的 Nova™ 超高溫基板加熱器，可在 1850° 下提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的性能

可直接擴(kuò)展到 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系統(tǒng)