高真空脈沖激光濺射薄膜沉積系統(tǒng)

1.產(chǎn)品概述：

系統(tǒng)主要由真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。

2.設(shè)備用途：

脈沖激光沉積(Pulsed Laser DeposiTION，簡稱PLD)是新近發(fā)展起來的一項(xiàng)技術(shù)，繼20世紀(jì)80年代末成功地制備出高臨界溫度的超導(dǎo)薄膜之后，它的優(yōu)點(diǎn)和潛力逐漸被人們認(rèn)識和重視。該項(xiàng)技術(shù)在生成復(fù)雜的化合物薄膜方面得到了非常好的結(jié)果。與常規(guī)的沉積技術(shù)相比，脈沖激光沉積的過程被認(rèn)為是“化學(xué)計(jì)量"的過程，因?yàn)樗菍械某煞洲D(zhuǎn)換成沉積薄膜，非常適合于沉積氧化物之類的復(fù)雜結(jié)構(gòu)材料。當(dāng)脈沖激光制備技術(shù)在難熔材料及多組分材料(如化合物半導(dǎo)體、電子陶瓷、超導(dǎo)材料)的精密薄膜，顯示出了誘人的應(yīng)用景。

3.真空室結(jié)構(gòu):

球形開門

真空室尺寸:φ450mm

限真空度:≤6.67E-6Pa

沉積源:φ2英寸靶材，4個

樣品尺寸，溫度:φ2英寸，1片，高800℃

占地面積（長x寬x高）:約1.8米x0.97米x1.9米

電控描述:全自動