金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積

1.產(chǎn)品概述：

Veeco的Propel™HVMGaNMOCVD系統(tǒng)被設(shè)計(jì)為一種大批量制造單晶圓反應(yīng)器簇系統(tǒng)，適用于基于GaN的功率、射頻和光子器件。采用單晶圓反應(yīng)器平臺，能夠在150和200毫米晶圓上產(chǎn)生高質(zhì)量外延膜性能，以實(shí)現(xiàn)均勻性、可重復(fù)性和良率。PropelHVM系統(tǒng)可配置多達(dá)6個模塊化集群室，以實(shí)現(xiàn)最大的生產(chǎn)力和靈活性，是客戶、鑄造廠或IDM業(yè)務(wù)的理想選擇。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢：

單晶圓反應(yīng)器基于VeecoTurboDisc®設(shè)計(jì)，采用突破性技術(shù)，包括IsoFlange™和SymmHeat™，可在整個晶圓上提供層流和均勻的溫度分布。客戶可以輕松地將工藝從Veeco的單晶圓反應(yīng)器Propel和K465i™系統(tǒng)轉(zhuǎn)移到PropelHVMGaNMOCVD平臺，以實(shí)現(xiàn)快速開發(fā)到生產(chǎn)周期.

Veeco的Propel™HVMGaNMOCVD系統(tǒng)被設(shè)計(jì)為一種大批量制造單晶圓反應(yīng)器簇系統(tǒng)，適用于基于GaN的功率、射頻和光子器件。采用單晶圓反應(yīng)器平臺，能夠在150和200毫米晶圓上產(chǎn)生高質(zhì)量外延膜性能，以實(shí)現(xiàn)均勻性、可重復(fù)性和良率。PropelHVM系統(tǒng)可配置多達(dá)6個模塊化集群室，以實(shí)現(xiàn)大的生產(chǎn)力和靈活性，是客戶、鑄造廠或IDM業(yè)務(wù)的理想選擇。

單晶圓反應(yīng)器基于VeecoTurboDisc®設(shè)計(jì)，采用突破性技術(shù)，包括IsoFlange™和SymmHeat™，可在整個晶圓上提供層流和均勻的溫度分布?？蛻艨梢暂p松地將工藝從Veeco的單晶圓反應(yīng)器Propel和K465i™系統(tǒng)轉(zhuǎn)移到PropelHVMGaNMOCVD平臺，以實(shí)現(xiàn)快速開發(fā)到生產(chǎn)周期。