微型輪廓儀（光學(xué)檢測(cè)）

1. 樣品臺(tái)規(guī)格：

樣品臺(tái)尺寸：Φ160mm

大工件尺寸：Φ200mm

大工件厚度：52mm

大工件重量：2kg

縱向調(diào)整范圍：2.5" (±5mm/160mm)

樣品臺(tái)材質(zhì)：黑色硬質(zhì)鉛

手動(dòng)旋轉(zhuǎn)：360°（手動(dòng)粗調(diào)）、±5°（微調(diào)，小約0.5°）

2. 傳感器參數(shù)：

原理：光柵式傳感器

Z方向測(cè)定范圍：Max. 600μm

Z方向小分辨率（隨放大倍率變化）：

x5,000倍時(shí)：10nm ±300μm

x10,000倍時(shí)：5nm ±160μm

x20,000倍時(shí)：2.5nm ±80μm

x50,000倍時(shí)：1nm ±32μm

x100,000倍時(shí)：0.5nm ±16μm

x200,000倍時(shí)：0.25nm ±8μm

x500,000倍時(shí)：0.1nm ±3.2μm

x1,000,000倍時(shí)：0.05nm ±1.6μm

x2,000,000倍時(shí)：0.025nm ±0.8μm

測(cè)定力：10μN(yùn)～500μN(yùn)

觸針半徑：2μm 60° 鉆石針頭（另有多種可選）

驅(qū)動(dòng)方式：直流伺服

重復(fù)性：te = 0.2nm (1μm以下臺(tái)階時(shí))

3. X軸（基準(zhǔn)軸/測(cè)量軸）參數(shù)：

移動(dòng)量（大行程）：100mm (±50mm)

直線度：0.2μm/100mm (全量程)，5nm/5mm (局部)

移動(dòng)速度：0.005～20mm/s

線性度（linear scale）：X方向分辨率 0.1μm

位置重復(fù)誤差：±5nm

以下是詳細(xì)列出的機(jī)械臂參數(shù)和功能：

4. Z軸參數(shù)：

移動(dòng)量：54mm

移動(dòng)速度：大2.0mm/S

檢出器自動(dòng)停止機(jī)能

5. Y軸參數(shù)（手動(dòng)定位用）：

移動(dòng)量：25mm（±12.5mm）

6. 工作觀察參數(shù)：

彩色1/3"CCD，配備x4物鏡倍率

綜合倍率：約320倍（使用19"顯示器時(shí)）

視野范圍：1.2mm x 0.9mm

觀察方向：右側(cè)斜視

照明系統(tǒng)：白色LED，支持軟件調(diào)整明暗度

7. 軟件功能簡(jiǎn)介：

型號(hào)：i-STAR31

可設(shè)定測(cè)量條件菜單、重復(fù)測(cè)量設(shè)定及解析菜單

支持設(shè)定下針坐標(biāo)，實(shí)現(xiàn)定位后自動(dòng)測(cè)量及解析功能

配備低通濾波功能，有效過(guò)濾噪音及雜訊

具有返回測(cè)量起始點(diǎn)功能

顯示倍率范圍：垂直方向502,000,000倍，縱方向110,000倍

強(qiáng)大的解析功能，包括主要圖形、段差解析、粗糙度解析、內(nèi)應(yīng)力分析及多種段差解析選項(xiàng)

8. 其他參數(shù)：

床臺(tái)材質(zhì)：一體花崗巖

防振臺(tái)（選購(gòu)）：提供落地型或桌上型選項(xiàng)

電源規(guī)格：AC220V±10%，50/60HZ，300VA本體外觀尺寸及重量：W500×D440×H610mm，重120kg，采用一體花崗巖低重心結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)（不含防振臺(tái)）