歡迎來到深圳市矢量科學儀器有限公司網站！歡迎來到深圳市矢量科學儀器有限公司網站！
詳細介紹
1. 產品概述
Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統，傳輸系統和工藝模塊設計可兼容多種工藝用途，友好的人機交互和安全性設計保障系統穩(wěn)定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機型，可滿足不同客戶需求。
2. 設備用途/原理
Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統，Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統，傳輸系統和工藝模塊設計可兼容多種工藝用途。友好的人機交互和安全性設計保障系統穩(wěn)定、安全、高效，具有單腔和多腔兩種機型，可滿足不同客戶需求。
3. 設備特點
晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料 硅，適用工藝 常壓：N&P 常壓硅外延，減壓：埋層外延、選擇性外延、多晶外延，適用域 科研、集成電路。
產品咨詢
網站首頁
